以至于：1.连接词或短语，表示在时间、数量、范围、程度等方面的延伸，一般表示从小到大、从少到多、从浅到深、从低到高，有时也用于相反的方向，有直到、直至的意思。

例：二人相谈甚欢，所谈自人类社会以至于天地、宇宙，无所不包。

编辑技能不是一蹴而就的，是在十次、百次以至于上千次的编校过程中形成的。

2.连接分句，用在后一分句开头，表示由于上述情况的程度很深而产生的结果。

例：雨下得越来越大，以至于很多人被困在大楼里。

现代科学技术的发展日新月异，以至于从前神话、童话中的一些幻想故事，现在都有可能成为现实。

以致于：只有一种用法，即连接分句，用在后一分句开头，表示由于上述原因而造成的结果（多指不好的或说话人不希望的）。

例：对弱势群体的关注不够导致了他们长期内心情绪的这种积压，以致于他们走上这条绝路。

小明没有认真备考，以致于未能通过这次的职业资格考试。

以至于与以致于都连接分句，而不连接词或词组。

以致于含甚至的意味，表示由于上述情况而产生的结果，可以是好的，也可以是坏的，多指不好的结果，意在以下文强调上述情况的程度之深。

以至于，犹言直至，直到。

表示在范围、数量、程度、时间等延伸和发展，适用的范围比较广。